光刻 ：STEPPER

考虑到PSS制程对线宽的要求，普通曝光机图形尺寸和掩膜板尺寸一比一，目前不能满足PSS线宽精度的要求，现有NIKON STEPPER为５:１的步进投影光刻机。当前世界各国PSS行业大量采用，IC二手NIKON步进投影光刻机已经成为PSS制程的标准配置。

匀胶显影设备

通过高速旋转方式使胶滴（显影液）均匀涂布在基片上。并通过机械手将基片传递到热板上均匀烘干，然后在冷板上降温。全过程自动化的从片盒到片盒之间处理。

MALN BODY

TRANSFER ROBOT

SPIN UNIT

MULTI-STAGE OVEN