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我公司参与中科院“45-22 nm集成式光学临界尺度（OCD）在线检测设备”项目设备改造

发布时间：2016-08-16

热烈祝贺：中国科学院微电子研究所在第七届国际发明展览会暨国际教学新仪器和新设备展览会中展示的“固态射频电源系统”和“45-22 nm集成式光学临界尺度（OCD）在线检测设备”两个项目获得“银奖”。

我公司在“45-22 nm集成式光学临界尺度（OCD）在线检测设备”项目中主持完成PECVD设备工艺改造。

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